据立木信息咨询发布的《中国六氯乙硅烷市场研究与发展前景研究报告》显示：六氯乙硅烷是一种高效脱氧剂，也是一种生产乙硅烷的原料，可以用来生产无定形硅薄膜、光学纤维原料、玻璃、MoSi2 等。在光伏行业中，Si2Cl6是多晶硅残液中最具高附加值的成分。
六氯乙硅烷的主流制备工艺主要包括精馏法、吸附法、反应法，反应精馏法，吸附- 精馏法等，国外对六氯乙硅烷的制备研究较早，制备工艺也相对比较成熟，国内在六氯乙硅烷的提纯精制受到技术积累的限制，目前仍没有成熟的生产工艺。
六氯乙硅烷作为重要的电子特气也是多晶硅系统残液中最大量的成分，其能否低成本，高效率地从多晶硅残液中提取回收，已经成为多晶硅厂商增加额外利润，减小系统成本的关键。目前六氯二硅烷市面价格昂贵，纯度98%以上的达370美元/公斤，是残液中最具价值的部分。2015年，中硅高科成功从多晶硅残液中回收六氯乙硅烷，生产的产品纯度≥99%，可作为电子级六氯乙硅烷原料使用，填补了国内空白。
在国内，电子级六氯乙硅烷普遍用于更先进的IC制造中，且用量在不断增大极具潜力。
六氯乙硅烷的提纯方法，不会是单一的某种提纯模式，各种工艺的优化结合会逐渐成为流行趋势，从而更高效、经济的去除杂质，同时加强过程控制，建立痕量杂质质量管控系统是未来制备高纯度六氯乙硅烷产品的发展方向。
