1.介绍
1.1 SECS/GEM定义
SECS/GEM是由国际半导体设备和材料协会成员构建的连接标准。本标准适用于设备与工厂管理系统之间的通信标准。
www.secsgem.cn SECS/GEM协议网站
2种用途
SECS/GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，界面可以启动和停止设备处理、收集测量数据、更改变量和选择产品配方。
SECS/ GEM标准以明确的方式完成所有这些任务。该标准由SEMI组织开发，定义了一组通用设备行为和通信能力。
并且用于控制制造设备标准的通用模型由非营利组织半导体设备和材料国际维护和发布。
一般来说，SECS/GEM标准定义了消息、状态机和场景，使工厂软件能够控制和监控制造设备。
GEM标准被正式命名为SEMI标准E30，但通常缩写为GEM或SECS/GEM标准。GEM是SECS-II标准SEMI标准E5的标准实现，它提供了支持半导体设备制造商制造自动化计划的功能和灵活性。半导体、表面安装技术、电子元件、光伏、平板显示器和其他制造工业中的许多设备在制造设备上提供GEM/SECS接口，使得工厂主机软件可以与机器通信，用于监测和/或控制目的。由于GEM标准是用很少的半导体特性编写的，因此几乎可以应用于任何行业的任何自动化制造设备。
所有符合GEM的生产设备都有一致的接口和特定的行为。GEM设备可以使用基于TCP/IP或RS-232的协议与支持GEM的主机通信。通常，两种协议都受支持。每个设备都可以通过GEM规定的通用SECS-II报文进行监控。还有许多附加的SEMI标准和工厂规范参考了GEM标准的特性。这些附加标准是特定的行业或特定的设备类型。
3 HSMS
5.1高速SECS消息服务为独立的制造商提供了一种方法，使他们可以实现互连和互操作，而彼此不需要特定的知识。
5.2 HSMS旨在成为SEMI E4的替代产品，用于需要高速通信或简单点对点拓扑结构不足的应用中。半E4仍然可以用于不需要HSMS的这些和其他属性的应用中。
5.3对于TCP/IP优先于OSI的应用，HSMS也可以替代SEMI E13。
5.4 HSMS旨在通过附属标准进行补充，这些标准进一步规定了其使用的细节或对其在特定应用领域的使用施加了限制。
4 SECS一世
6.1修订历史——这是自《SECS——我》最初于1980年出版以来的第一次重大修订。SEC-I的初衷几乎没有改变，尽管有一些重要的补充。附录1总结了这些变化。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会12合作制定的。
6.2意图-本标准为独立制造商提供了一种生产设备和/或主机的方法，这些设备和/或主机可以在彼此没有特定知识的情况下进行连接。
5颗宝石
7.1 GEM为所有半导体制造设备定义了新SECS协议的标准实施。GEM标准定义了一组通用设备行为和通信功能，可以提供功能和灵活性来支持半导体设备制造商的制造自动化程序。供应商可以提供未包括在GEM中的其他SECS-II功能，只要附加功能不与GEM中定义的任何行为或功能相冲突。此类添加可能包括SECS-II消息、收集事件、警报、远程命令代码、处理状态、可变数据项或其他特定于类别的功能。)或特定的设备实例。
7.1.1 GEM旨在为设备制造商和设备供应商带来经济利益。供应商从开发和销售满足大多数客户的单一SECS-II界面的能力中受益。设备制造商受益于所有制造设备中SECS-II接口的增强和标准化。这种标准化降低了设备供应商和设备制造商的软件开发成本。通过降低成本和增加功能，设备制造商可以更快、更有效地实现半导体工厂的自动化。GEM标准提供的灵活性使设备制造商能够在通用的行业框架内实施独特的自动化解决方案。
7.1.2 GEM标准旨在规定以下内容:
1.SECS-II通信环境下半导体制造设备的行为模型，
2.半导体制造环境中所需信息和控制功能的描述，
3.半导体制造设备的基本SECS-II通信能力的定义，
4.当SECS-II提供了多种可能性，完成操作的一致方法，以及实现有用的通信功能所必需的标准消息对话。
7.1.3 GEM标准包含两类要求:
1.基本GEM要求和
2.对GEM附加功能的要求。
7 . 1 . 4 GEM的基本要求构成了GEM标准的基础。额外的GEM功能提供某些类型的工厂自动化所需的功能或适用于特定类型设备的功能。GEM的基本要求和其他功能的详细列表。
7.1.5设备供应商应与其客户合作，以确定应为特定类型的设备实施哪些额外的GEM功能。由于GEM标准中定义的功能是专门为满足半导体制造商的工厂自动化要求而开发的，因此预计大多数设备制造商将需要适用于特定类型设备的大多数GEM功能。由于工厂自动化策略不同，一些设备制造商可能不需要所有的GEM功能。
6细节
SECS/GEM是由国际半导体设备和材料协会制定的连接标准。该连接标准用于在设备和工厂的信息和控制系统之间建立通信。
SECS是半导体设备通信标准的缩写。GEM指的是SEMI connectivity standard E30，它被定义为用于制造设备的通信和控制的通用模型。
一般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情况，以使工厂软件能够控制和监控制造设备。正式名称是SEMI连接标准E30。
在实施SECS/GEM标准的工厂中，有两方:主机和设备。该设备在一台计算机上运行软件，该计算机必须实现并符合SEMI E30标准。制造商运行主机软件来建立与设备接口的通信。
主机不需要遵循完整的连接标准，因为它只设置设备的预期行为。但是，要使用该接口，主机必须与主机通信。SECS/GEM为每种可能的主机信息设置了明确的设备预期行为。
一致
SECS/GEM半连接标准定义了主机和设备开始建立通信的方式，还定义了通信中断时重新建立通信的方式。在线识别方法负责验证设备的硬件和软件识别。终端功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上手动输入文本。
控制
SECS/GEM半连接性标准总结了主机和设备操作者之间协作级别的控制状态模型。设备提供三种基本的主机控制级别:离线、在线/本地和在线/远程，这些级别决定了主机控制和监控设备的能力。设备操作员设置主机控制的级别。远程控制功能允许主机发送“开始”、“停止”、“暂停”、“继续”、“中断”等命令来控制设备的工作过程。
操作通知
事件收集和报警功能使主机能够监控设备的运行。设备事件收集功能将通知主机重要的正常活动和异常活动。当潜在危险活动出现并随后被清除时，设备报警功能将通知主机。主机设置需要通知的收集事件和警报。SECS/GEM连接标准要求必须通知某些事件，但通常会为设备定义附加事件，以便主机可以监控与特定设备相关的活动。
