以创新为驱动,全力解决行业领域“卡脖子”顽疾——长春光华微电子设备工程中心有限公司

核心提示一、案例简介案例背景长春光华微电子设备工程中心有限公司为中科院长春光机所下属企业,专注于微电子设备的研发、生产、销售。2002年成立以来,在被动元件生产设备、半导体生产设备等领域多次打破国外垄断,先后研制出了我国首台全自动激光调阻机、首台激

一、案情简介

案例背景

长春光华微电子设备工程中心有限公司是中科院长春光机所下属企业,专注于微电子设备的研发、生产和销售。自2002年成立以来,在无源元件生产设备、半导体生产设备等领域多次打破国外垄断,先后研发出中国第一台全自动激光电阻调阻机、第一台激光划片机、第一台12英寸全自动晶圆探针台。产品性能达到国际先进水平。实现国产替代后,行业龙头企业生产成本大幅降低,生产效率提高。部分产品市场占有率达70%左右,成为微电子设备细分领域的“隐形冠军”。通过公司科技部高新技术企业、国家专业化小巨人企业、吉林省科技小巨人企业、吉林省企业技术中心、吉林省战略性新兴产业示范企业、吉林省工程研究中心等认证,获得吉林省科学技术奖一等奖等奖项。

案例介绍

光华成立近20年来,一直专注于行业急需和国家战略需求的技术攻关和国家鼓励的高端装备,研发集成电路行业制造和测试设备,解决产业链“瓶颈”环节,多次打破国外生产设备在该行业的垄断,推动生产设备产业链的完善, 提高电子产业制造产业链关键工序的国产化率,提升我国电子装备制造业的技术集成创新能力和国际竞争力。

在中国集成电路产业中,设备、零件、材料和软件工具是核心基础,是当前的痛点,也是国际博弈的长期焦点。国内集成电路产业高端装备的技术水平与国外还有差距。在我国被“卡住”的关键技术名单中,有两个是我公司的重点研究方向:在集成电路制造领域,12英寸全自动商用晶圆测试探针台可以解决以往半导体工艺中的性能测试,在国内已经小批量供货,即将全面打开市场;在电容、电阻等高端无源元件的RD和制造方面,我公司的激光电阻调阻机、激光划片机、激光划片机等系列产品已被国产产品替代,市场份额达到70%。

光华一直保持与上下游产业链企业的合作:支持上游企业的技术改进和创新,使其能够为国内集成电路设备制造业提供更多优质配件,提高国产零部件质量,替代进口零部件;我们与相关领域的下游龙头企业密切合作,协调关键技术和关键设备的研发,加快国内替代。通过与上下游产业链的合作,带动上下游产业,保持产业链供应链的稳定,提升企业的整体竞争力。

二、典型经验

具体措施

1.聚焦创新驱动,突破瓶颈困境,加快相关产业RD步伐。创新一直是光华公司发展的主旨。公司不断增加在RD的投资。2020年研发支出792.79万元,占销售收入的10.55%,达到近年来的新高。预计2021年研发支出将达到1200万元,占销售收入的10%左右。目前,公司有104名员工,RD人员占60%以上。RD团队多年来一直从事光机电一体化设备的研发。在精密、超精密仪器及相关精密机械传动和运动控制单元技术、高频高精度激光微加工单元技术等领域,,它具有坚实的理论基础,较高的RD水平,以及持续的RD投资,使公司的产品始终保持在行业内的核心竞争力和技术领先地位。

2.促进产学研合作创新,加快技术研究进程。通过企业主导的产学研协同创新机制,积极寻求与高校、科研院所的实质性合作,有针对性地开展关键技术的联合研究,大大缩短了RD周期,在市场上处于领先地位。此外,长春光机所的技术传承和发展,以及长光集团各企业的广泛合作,使公司有信心在国内微电子设备替代领域不断攻关新项目,占领新市场。

3.以市场为牵引,充分保障企业生产需求。从激光调阻机到晶圆探针台等设备,公司产品大多满足企业的迫切需求。企业提出有针对性的产品和技术指标要求。光华公司与企业共同推进新产品进程,跟进产品和项目,强化售后专业化水平,确保服务和RD进度。2020年,光华公司向全国13个城市的21家客户配送产品,售后人员全力保障设备的维护和售后工作,全年完成配件销售和维修1566次。通过20年的专业技术支持和快速反应的售后服务,行业内的龙头企业对我们产品的信任度增加,这也是我们产品市场份额不断提升的原因之一。

4.通过合资成立新公司,逐步完善技术短板和产业布局。近年来,公司先后以货币和技术入股的方式投资了佛山中科灿光微电子设备有限公司、滁州长光高端智能设备有限公司、中科长光晶拓智能设备有限公司、长春长光陈星软件技术有限公司、智臻精密半导体技术有限公司,提高了公司在市场开拓、软件开发、成果转化和售后快速反应方面的综合能力。

体验效应

1.无源元件产品的主要技术指标达到国内领先水平和国际先进水平。全球十大电阻厂商全部采用光华产品,市场份额超过70%。实现了国产替代,成为无源元件生产设备行业的“隐形冠军”。

2.晶圆探针台产品涵盖数字逻辑半导体、功率半导体、光学传感器件等多种产品。计划年底前在存储设备领域试用。目前,GPS1200探针台基本满足客户产品的测试要求,即将实现该领域的国内替代。

参考意义

1.聚焦RD与合作

越来越多的中小企业选择走“专、精、专、新”之路。只有重视RD,保持科研创新能力,保持产品在市场上的竞争力,才能在行业中占有一席之地。

2.关注产品质量

弘扬工匠精神,加强产品精益管理,强化质量管控,实现高质量发展。

3.深耕自己的领域多年。

与传统产业相比,战略性新兴产业的发展需要更多的技术、人才、资金等多方面的支持。,需要更加科学的布局规划和合理有序的发展。在企业发展过程中,无论是技术研究还是日常管理运营,都要保持初心,专注于自己领域的努力。星光不问路人,时间有回报。

4.以企业需求为牵引。

凭借产品质量的认可和服务成果的荣誉,光华公司始终与客户保持着密切的联系,并逐渐在市场上获得了良好的声誉。

第三,案例的创新

1.在经营和RD理念方面,公司一直以市场为导向,以行业需求为驱动,以技术空白为RD目标。在为关键工序提供生产设备的同时,与客户进行深入沟通,通过客户的需求判断市场走向和未来发展趋势,一直是公司的重要因素。

2.通过逐步优化股权结构,在机制上为公司提供强有力的支持。大股东中科院长春光机所作为国家科技队伍,在基础研究和工程研究方面拥有强大的技术背景,被誉为中国光学产业的摇篮。多年来一直为公司各种产品提供持续的技术支持,大大加快了攻关效率;广东风华高科技股份有限公司作为国有无源元件行业龙头企业,在资金和市场两方面给予公司支持,使我们能够有效洞察市场方向,布局新产品,打开新局面。吉林长广财兴投资有限公司作为省政府的引导基金,在公司合规管理方面给予深度指导和帮助,为公司登陆资本市场打下良好基础;长春光机所是长春光机所的资产管理平台。在资源对接、项目争取、资本运作、人才储备、公司治理等方面对公司进行有效指导和帮助,助力公司快速发展。四大员工持股平台,全员持股的管理模式,增强了员工的责任感和使命感,大大增强了公司的凝聚力和战斗力。

3.公司积极寻求产学研协同创新,建立校企合作,加快技术研究进程。2021年,公司在半导体制造领域积极布局多个方向。AOI方面,已与长春光机所团队完成方案论证,正在进行关键技术研究,拟打破美国鲁道夫、以色列CamTech等公司对晶圆缺陷光学检测设备的垄断;布局先进半导体3D封装设备,联合中科院长春光机所精密仪器设备研发中心和国有晶圆企业,通过晶圆多层封装技术,尝试解决无EVU光刻机的高性能芯片制造问题;此外,还对晶圆切割设备进行了系统布局,为解决我国芯片制造领域的“卡脖子”问题做出了贡献。

 
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